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問答題

【簡答題】簡述光刻膠的分類，談?wù)務(wù)z和負(fù)膠的區(qū)別。

答案：

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②涂光刻膠：在晶圓表面均勻涂抹一薄層光刻膠
③軟烘培：加熱，部分蒸發(fā)...

【簡答題】光刻技術(shù)的圖形轉(zhuǎn)移分為哪兩個(gè)階段？

答案：

①圖形轉(zhuǎn)移到光刻膠層
②圖形從光刻膠層轉(zhuǎn)移到晶圓層

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