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問答題

【簡答題】光刻過程需要哪八大步驟？每個(gè)步驟的作用？

答案：

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【簡答題】簡述光刻的主要參數(shù)

答案：在光刻工藝中，主要的參數(shù)有特征尺寸、分辨率、套準(zhǔn)精度和工藝寬容度等。
1. 特征尺寸
特征...

【簡答題】簡述光刻的目的？

答案：光刻的主要目的是用來在不同的器件和電路表面形成所需的各種圖形。

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