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【簡答題】簡述微電子工藝的特點(diǎn)
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①高技術(shù)含量:設(shè)備先進(jìn)、技術(shù)先進(jìn)
②高精度:光刻圖形的最小線條尺寸在亞微米量級,制備的介質(zhì)薄膜厚度也在納米量級...
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答案:
①材料準(zhǔn)備
②晶體生長與晶圓準(zhǔn)備
③芯片制造
④封裝
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