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單項(xiàng)選擇題

在離子注入摻雜時(shí),有少部分雜質(zhì)進(jìn)入襯底后穿過較大距離,這種現(xiàn)象就是()。當(dāng)偏離晶向()ψc注入時(shí),可以避免。

A.橫向效應(yīng),>
B.橫向效應(yīng),<
C.溝道效應(yīng),<
D.溝道效應(yīng),>

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