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問答題

【簡答題】試述晶體外延的意義，列出三種外延方法。

答案：晶體外延的意義是：用同質(zhì)材料形成具有不同摻雜種類及濃度，因而具有不同性質(zhì)的晶體層。
晶體外延的方法主要有：氣相...

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【簡答題】什么叫硅的熱氧化？有哪幾種熱氧化技術(shù)？

答案：硅的熱氧化法是指硅與氧或水汽，在高溫下經(jīng)化學反應(yīng)生成SiO₂。根據(jù)氧化劑的不同，熱氧化可分為干氧氧...

【簡答題】集成電路主要有哪些基本制造工藝？

答案：集成電路基本制造工藝包括：外延生長，掩模制造，光刻，刻蝕，摻雜，絕緣層形成，金屬層形成等。

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