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名詞解釋

SOI技術(shù)

答案：稱絕緣層上硅，把器件做在絕緣襯底生長的硅單晶層上。

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SOS技術(shù)

答案：

雙摻雜技術(shù)

答案：同時(shí)引入兩種原子半徑不同的雜質(zhì)原子，使他們產(chǎn)生的應(yīng)變正好相反。應(yīng)力得到補(bǔ)償，減少或避免晶格畸變，消除失配位錯(cuò)-應(yīng)力補(bǔ)償法...

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