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CVD 技術(shù)中通過沉積反應(yīng)易于生成所需要的材料沉積物,而沉積物均易揮發(fā)而留在氣相排出或易于分離。
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強(qiáng)制對流是自流體因溫度或濃度所產(chǎn)生的密度差所導(dǎo)致的。
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判斷題
在CVD 技術(shù)中反應(yīng)劑在室溫或不太高的溫度下最好是氣態(tài)或有較高的蒸氣壓而易于揮發(fā)成蒸汽的液態(tài)或固態(tài)物質(zhì),且有很高的純度。
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