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多項選擇題

下列哪個工藝方法應用了等離子體技術（）

A.RIE
B.MOCVD
C.濺射
D.LPCVD

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單項選擇題

實際VPE工藝溫度多在質量傳遞控制區(qū)，此時外延速率（）

A.對溫度不太敏感
B.對溫度非常敏感
C.源的氣相擴散的影響不大
D.源氣體分壓的影響不大

涂膠前的打底膜是為了增強光刻膠與襯底之間的浸潤性。

答案：正確

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