- 搜標(biāo)題
- 搜題干
- 搜選項(xiàng)
名詞解釋
Opc光學(xué)臨界校正
答案：
補(bǔ)償當(dāng)圖形尺寸和曝光光線尺寸臨近時(shí)所產(chǎn)生的衍射效應(yīng)。
你可能感興趣的試題
名詞解釋
PSM移相掩膜
答案：
相移掩膜上的電介質(zhì)層在光刻版上開(kāi)口部分以間隔的方式形成相移圖形，通過(guò)沒(méi)有相移涂敷開(kāi)口部分的光線，會(huì)與通過(guò)有相移涂敷開(kāi)口的...
