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問答題

【簡答題】簡述熱擴散所需經(jīng)歷的步驟

答案：

•建立濃度差
•雜質(zhì)擴散至合適的結(jié)深
•雜質(zhì)與硅原子成鍵

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擴散運動需滿足兩個基本條件：<...

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答案： 1）襯底清洗
2）生長掩蔽膜
3）對掩蔽膜進行光刻和刻蝕

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