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問答題

【簡答題】金屬層間介質(zhì)的作用是什么？通常用什么材料作層間介質(zhì)層？

答案：

作用：支撐材料和金屬間的絕緣層（以及局部互連介質(zhì)層）
通常用氧化硅作為層間介質(zhì)層。

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【簡答題】接觸孔和通孔的作用是什么？它們是如何形成的？什么是鎢塞。試說明其主要作用。

答案：接觸孔的作用：在金屬和非金屬導(dǎo)體間提供電學(xué)連接；
形成：
1）鈦的淀積
2）退火

【簡答題】請說明在形成晶體管的有源區(qū)摻雜過程中需要進行哪些保護？分別用什么材料作為保護層？

答案：第一次：有源區(qū)的輕摻雜漏注入（LDD）時，用光刻膠保護不需注入的其他區(qū)域；
第二次：在對有源區(qū)進行更大劑量的注...