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填空題

優(yōu)化設(shè)計(jì)的三要素是：（），（），（）。

答案：設(shè)計(jì)變量；目標(biāo)函數(shù)；約束條件

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高速主軸采用的軸承有：（），（），（），（）。

答案：滾動(dòng)軸承；氣浮軸承；液體靜壓軸承；磁浮軸承

微細(xì)加工工藝方法主要有：（），光刻加工，體刻蝕加工技術(shù)，面刻蝕加工技術(shù)，LIGA技術(shù)，（）和（）。

答案：超微機(jī)械加工；封接技術(shù)；分子裝配技術(shù)