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硅壓阻式壓力傳感器是利用()的()制成的器件。
答案:
單晶硅;壓阻效應(yīng)
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填空題
傳感器頻域動態(tài)性能指標(biāo)主要包括帶寬頻率、()和()。
答案:
工作頻帶;諧振頻率
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填空題
傳感器所測量的物理量基本上有兩種形式,即()和(),前者所表現(xiàn)的信號不隨時間變化而變化或變化很緩慢,而后者所表現(xiàn)的信號隨時間的變化而變化。
答案:
靜態(tài)量;動態(tài)量
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