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問答題
【簡答題】是說明什么是迪爾—格羅夫模型？試給出迪爾—格羅夫模型兩種極限情況的示意圖。并說明其物理意義。
答案：
Deal-Grove氧化模型（線性－拋物線模型 linear-parabolic model），是可...
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問答題
【簡答題】氧化硅的熱動(dòng)力學(xué)生長過程中包括哪幾個(gè)主要過程？并說明每一種過程中的什么因素對(duì)氧化生長速率有影響？其中決定因素是什么？
答案：
熱氧化過程中，氧化層的增厚包括三個(gè)過程：氧化劑從氣體內(nèi)部以擴(kuò)散形式輸運(yùn)到氣體—氧化層界面：氧化劑穿過滯流層到...
問答題
【簡答題】熱生長厚度是2000A的氧化層后，Si-SiO2的界面與原來的硅表面的高度差為多少？為什么？
答案：
氧化中硅消耗的厚度占總氧化物厚度的46%，即意味著每生長1000A的氧化物，就有460A的硅被消耗。
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