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填空題

擴散分布的主要測量方法有:()。

答案: 四探針測電阻率、擴展電阻測載流子分布、霍爾效應(yīng)測電阻率、染色法測結(jié)深、二次離子質(zhì)譜測雜質(zhì)分布、盧瑟福背散射測重雜質(zhì)分布
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