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判斷題

半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中所制備的二氧化硅薄膜屬于無定形二氧化硅。

答案：正確

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在常規(guī)熱氧化工藝中干氧氧化的速度最快。

答案：錯(cuò)誤

溫度對(duì)氧化速率常數(shù)A、B都有影響，壓強(qiáng)只影響氧化速率常數(shù)B。

答案：正確