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【簡答題】薄膜的化學制備方法有哪些?
答案:
主要分為化學氣相沉積CVD和溶液鍍膜法,化學氣相沉積包括熱CVD、等離子體CVD及光CVD等;溶液鍍膜法包括化學鍍膜法、...
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答案:
在真空腔體之中,加熱蒸發(fā)器中待形成薄膜的材料,使其原子或分子從表面氣化逸出形成蒸汽流,入射到基片表面,凝固形成固態(tài)薄膜的...
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答案:
主要以氣相沉積方法為主,物理氣相沉積PVD是指利用某種物理過程,如物質的熱蒸發(fā)或者在受到粒子轟擊時物質表面原子濺射等現(xiàn)象...
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