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問答題
【簡答題】簡述離子注入工藝相對于熱擴散工藝的優(yōu)缺點。
答案：
優(yōu)點：①精確地控制摻雜濃度和摻雜深度；
②可以獲得任意的雜質濃度分布；
③雜質濃度均勻性、重復性好；...
②可以獲得任意的雜質濃度分布；
③雜質濃度均勻性、重復性好；...
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問答題
【簡答題】
說明擴散雜質的高斯分布特點（有限源擴散屬于此分布）
答案：
①在整個擴散過程中，雜質總量保持不變；
②擴散時間越長，擴散溫度越高，則雜質擴散得越深，表面濃度越低；
③表面雜質濃度可控。
