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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述什么焦深（DOF）及其公式。
答案：
焦深是焦點(diǎn)上下的一個(gè)范圍，在這個(gè)范圍內(nèi)圖像連續(xù)保持清晰。焦深類(lèi)似照相的景深，集成電路光刻中的景深很小，一般在1.0&mu...
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問(wèn)答題
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答案：
分辨率是將硅片上兩個(gè)相鄰的關(guān)鍵尺寸圖形區(qū)分開(kāi)的能力。分辨率是光刻中一個(gè)重要的性能指標(biāo)。
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