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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】影響氧化速度的因素有哪些？

答案：

摻雜物、晶體晶向、壓力、溫度、水蒸氣。

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【簡(jiǎn)答題】描述熱氧化過(guò)程。

答案： ①干氧：Si＋O₂SiO₂
氧化速度慢，氧化層干燥、致密，均勻性、...

問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】說(shuō)明水汽氧化的化學(xué)反應(yīng)，水汽氧化與干氧氧化相比速度是快還是慢？為什么？

答案：化學(xué)反應(yīng)：Si+2H₂O->SiO₂+2H₂