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名詞解釋

HB

答案：水平布里奇曼法，又稱橫拉法。采用石英密封系統(tǒng)，系統(tǒng)置于雙溫區(qū)爐中，低溫端放As源控制系統(tǒng)中As氣壓，高溫端合成化合物并拉...

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答案：只能剝離技術是一種注入氫離子然后進行剝離的技術，即在鍵合的一片晶片上注入氫離子，然后和另一硅片在一定溫度下鍵合，鍵合熱處...

SIMOX

答案：

通過氧離子注入到硅片，與硅發(fā)生反應形成二氧化硅沉淀物，再經(jīng)高溫退火過程形成SiO₂層，同時消除注入缺陷。

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