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名詞解釋

Smart-Cut

答案: 只能剝離技術(shù)是一種注入氫離子然后進行剝離的技術(shù),即在鍵合的一片晶片上注入氫離子,然后和另一硅片在一定溫度下鍵合,鍵合熱處...
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名詞解釋

SIMOX

答案:

通過氧離子注入到硅片,與硅發(fā)生反應(yīng)形成二氧化硅沉淀物,再經(jīng)高溫退火過程形成SiO2層,同時消除注入缺陷。

名詞解釋

SOI技術(shù)

答案: 稱絕緣層上硅,把器件做在絕緣襯底生長的硅單晶層上。
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