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填空題
隨著銅布線中大馬士革工藝的引入,金屬化工藝變成刻蝕()以形成一個凹槽,然后淀積()來覆蓋其上的圖形,再利用()把銅平坦化至ILD的高度。
答案:
介質(zhì);金屬;CMP
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填空題
在干法刻蝕中發(fā)生刻蝕反應的三種方法是()、()和()。
答案:
化學作用;物理作用;化學作用與物理作用混合
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填空題
光刻包括兩種基本的工藝類型:負性光刻和(),兩者的主要區(qū)別是所用光刻膠的種類不同,前者是(),后者是()。
答案:
正性光刻;負性光刻膠;正性光刻膠
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