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填空題

隨著銅布線中大馬士革工藝的引入,金屬化工藝變成刻蝕()以形成一個凹槽,然后淀積()來覆蓋其上的圖形,再利用()把銅平坦化至ILD的高度。

答案: 介質(zhì);金屬;CMP
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填空題

在干法刻蝕中發(fā)生刻蝕反應的三種方法是()、()和()。

答案: 化學作用;物理作用;化學作用與物理作用混合
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