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問答題
【簡答題】簡述多晶硅注入的應(yīng)用
答案:
源漏區(qū)注入
該部分的注入工藝其能量相對較低,但劑量屬中高范圍,一般采用中束流及大束流注入機。
(1)...
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問答題
【簡答題】簡述離子注入的應(yīng)用?
答案:
溝道區(qū)及阱區(qū)摻雜這部分注入工藝的能量比較寬,但劑量屬中低范圍,所以此部分注入工藝基本上使用中束流及高能注入機。
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問答題
【簡答題】簡述離子注入機的各部分工作原理?
答案:
離子注入機主要由離子源、分析磁體、加速聚焦器、掃描偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、靶室及終端臺和真空系統(tǒng)6大部分組成。
1)離子源的...
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