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問答題
【簡答題】什么是CVD中的氣缺現(xiàn)象？解決氣缺現(xiàn)象的措施？
答案：
1）氣缺現(xiàn)象：一個(gè)入氣口的反應(yīng)室，沿氣流方向反應(yīng)劑不斷消耗，濃度降低，因此膜厚不均。當(dāng)氣體反應(yīng)劑被消耗而出現(xiàn)的反應(yīng)劑濃度...
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答案：
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