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問答題
【簡答題】簡述硅氣相外延的原理？
答案：
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問答題
【簡答題】簡述硅氣相外延的過程？
答案：
在氣相外延生長過程中，有兩步：
質(zhì)量輸運(yùn)過程－－反應(yīng)劑輸運(yùn)到襯底表面
表面反應(yīng)過程－－在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)釋放出硅原子
