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名詞解釋
離子注入的溝道效應(yīng)
答案：
當離子沿晶軸方向入射時，大部分離子將沿溝道運動，不會受到原子核的散射，方向基本不變，可以走得很遠。
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名詞解釋
離子注入的晶格損傷
答案：
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