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【簡(jiǎn)答題】開發(fā)多晶硅技術(shù)解決了什么問題?
答案:
常規(guī)CMOS結(jié)構(gòu)的閂鎖效應(yīng)嚴(yán)重地影響電路的可靠性,解決閂鎖效應(yīng)
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【簡(jiǎn)答題】版圖設(shè)計(jì)規(guī)則可以用什么形式給出?
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微米規(guī)則和λ規(guī)則。
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【簡(jiǎn)答題】在氧化層上形成所需要的圖形的步驟是什么?
答案:
甩膠、曝光、顯影、刻蝕、去膠。
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