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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】半導(dǎo)體芯片制造工藝對(duì)氣體有什么要求?

答案:半導(dǎo)體芯片制造工藝中經(jīng)常使用氧、氬、氫、氮等氣體,由于這些氣體的微粒雜質(zhì)和水汽對(duì)半導(dǎo)體芯片的性能、質(zhì)量、成品率有極大的影...
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