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單項選擇題

要保證退火爐內(nèi)的露點要求，純化后的氮氣的露點要小于（）。

A.0℃
B.-30℃
C.-60℃
D.－50℃

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單項選擇題

還原退火爐內(nèi)，保護氣體H2濃度越高，則基板表面氧化膜被還原的速度（）。

A.越快
B.越慢
C.無變化

單項選擇題

還原退火爐正常生產(chǎn)時，要保證爐內(nèi)始終（）。

A.微正壓
B.微負壓
C.與外界等壓