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問答題

【簡答題】影響Rs有那些工藝？

答案： ① 導(dǎo)線line（AA， poly & metal）的尺寸大小。（CD=crit...

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【簡答題】什么是spacing?如何量測?

答案：在電性測量中，給一條線(poly or metal)加一定電壓，測量與此線相鄰但不相交的另外一線的電流，此電流越小越好。...

【簡答題】在量測Poly/metal導(dǎo)線的特性時, 是利用什么電性參數(shù)得知?

答案：答可由電性量測所得的spacing & Rs 值來表現(xiàn)導(dǎo)線是否異常。

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