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問答題

【簡答題】試給出硅片上的熱氧化生長過程的示意圖，并說明其中的各物理量的基本含義。

答案：
F：number/（cm²-s）
C：number/cm³

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【簡答題】氧化硅的熱動力學生長過程中包括哪幾個主要過程？并說明每一種過程中的什么因素對氧化生長速率有影響？其中決定因素是什么？

答案：熱氧化過程中，氧化層的增厚包括三個過程：氧化劑從氣體內(nèi)部以擴散形式輸運到氣體—氧化層界面：氧化劑穿過滯流層到...