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填空題
光刻工藝的分辨率決定于：（）和曝光、顯影、刻蝕條件的正確控制。正膠的分辨率（）于負(fù)膠的分辨率；光刻膠越薄，分辨率越（）。
答案：
光刻機(jī)的分辨率、光刻膠的種類、光刻膠的厚度、光刻膠的對(duì)比度；高；高
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填空題
前烘的目的是（）使膠膜中的溶劑只有初始濃度的（）。從而，使膠的（）性能穩(wěn)定。對(duì)正膠，前烘過(guò)度會(huì)使非曝光區(qū)的膠（）；前烘不足，會(huì)使膠的感光度（），對(duì)比度（），線條邊緣不陡直。所以，必須嚴(yán)格控制前烘的（）和（）。
答案：
去除膠膜中的大部分溶劑；5%；曝光；部分溶解；提高；降低；時(shí)間；溫度
填空題
光刻膠的三種主要成分是：（）。正膠的感光劑是（），曝光使其（），正膠的曝光區(qū)在顯影后（）； 曝光使負(fù)膠的感光劑（），使曝光區(qū)在顯影后（）。
答案：
感光劑、基體材料和溶劑；重氮醌；長(zhǎng)鏈分子斷裂；去除；交聯(lián)；保留
