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名詞解釋

核阻止機制

答案：

來自原子核之間的碰撞，屬于原子核之間的彈性碰撞。總能量損失為兩者的和。

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離子注入的溝道效應

答案：

當離子沿晶軸方向入射時，大部分離子將沿溝道運動，不會受到原子核的散射，方向基本不變，可以走得很遠。

離子注入的晶格損傷

答案：高能離子注入硅片后與靶原子發(fā)生一系列碰撞，可能使靶原子發(fā)生位移，被位移原子還可能把能量依次傳給其它原子，結果產(chǎn)生一系列的...

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